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六氟化硫氣體的擊穿電壓除了與壓力有關以外，還與電極表面的光潔度和潔凈度有關；電極表面越潔凈、越光潔，其擊穿電壓就越高。

在同一壓力下，六氟化硫氣體的擊穿電壓隨著觸頭開距的增大而增大，但不是一個線性的關系，而是有一點飽和的意思，而且壓力越大飽和越嚴重；所以我們在實踐中不能單靠增大觸頭開距來加強絕緣。

此外，六氟化硫氣體的擊穿電壓還與電極的幾何形狀和觸頭面積有關；如果電極形狀使得電場越均勻，其擊穿電壓就越高，這在這里要注意，和真空開關不同，電極材料對六氟化硫氣體的擊穿電壓沒有比較明顯的影響。

六氟化硫氣體之所以有比較好的絕緣性能，是因為六氟化硫氣體具有負電性，就是說六氟化硫分子能夠吸附氣體中的自由電子，而變成負離子，這種負離子的質量遠遠大于自由電子的質量，因此運動速度大大降低，此外，間隙中自由電子的數量減少了，就難以形成擊穿通道。所以其絕緣性能比較好。另外，這種負電性在高溫下，也就是在滅弧時也是十分有利的。

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